含氢非晶碳膜(a-C:H)红外光学特性的研究

摘要：

采用端部霍尔离子源在硅基底上制备了含氢非晶碳膜(a-C:H),并测量了4 000～1 500 cm-1的红外透射光谱.基于单层薄膜的透射关系,获得了仅有六个拟合参数的光学常数计算模型.利用该模型,可以同时获得薄膜在宽波段范围内的光学常数和厚度:折射率的最大值为1.94,消光系数的最大值为0.014 9,拟合薄膜厚度为617 nm.

关键词：含氢非晶碳膜、光学常数、曲线拟合

所属期刊栏目：35

分类号：O484.5(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金60371020

在线出版日期：2007-01-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：777-779