新型SiO2栅介质非晶硅薄膜晶体管室温红外探测器

摘要：

对用作室温红外探测敏感单元的非晶硅薄膜晶体管进行了研究,提出了一种新型SiO2栅介质非晶硅薄膜晶体管室温红外探测器.该探测器的基本工作机理与传统的SiNx栅介质薄膜晶体管相类似,但在器件性能方面不仅具有较高的响应度,而且具有更好的温度稳定性;在制作工艺方面具有更高的工艺重复性和栅介质淀积的均匀性.

关键词：非晶硅薄膜晶体管、室温红外探测器、SiO2栅介质

所属期刊栏目：35

分类号：TN215(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金60221502

在线出版日期：2007-01-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：764-766,770