CO2激光雕刻机的折/衍混杂f-θ镜设计

摘要：

以工作于CO2激光主波长的传统两片球面透镜型f-θ镜为基础,引入衍射面实现消色差,设计了工作于可调谐CO2激光的波段范围9.0～11.0 μm的f-θ镜.结果表明,所设计的折/衍混杂f-θ镜不仅很好地工作在所要求的波段范围内,而且单色像差比原单波长f-θ镜有所提高,像面上的光斑在各个波长和视场上大小均匀.系统像差在各个波长上都接近或达到衍射极限,具有精确的光学扫描特性.

关键词：光学设计、f-θ镜、折/衍混杂、消色差

所属期刊栏目：35

分类号：TH74(仪器、仪表)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划60277021

在线出版日期：2006-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：351-353,358