新型非制冷高速高灵敏度红外探测器的研制

摘要：

介绍了一种新型非制冷高速高灵敏度硅基电容式红外探测器的工作原理,描述了探测器的设计思想及制作工艺.该探测器采用密封于微气腔的特殊气体吸收红外辐射以改变探测器微电容的原理来进行红外探测,制作工艺采用微机械加工技术.对样品的测试表明这种红外探测器能探测红外信号.

关键词：微机械、红外探测器、非制冷、红外吸收气体

所属期刊栏目：32

分类号：TN215(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金69976004,60276033;北京市自然科学基金4982005;北京市教委科技发展计划项目KM200310005009

在线出版日期：2003-12-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：452-455