移相式泰曼-格林红外干涉仪及应用

摘要：

研究了移相式红外泰曼-格林干涉仪,研制出光机电算一体化的仪器,仪器孔径为Φ30 mm.编制了计算机软件,用于干涉图波面的拟合与红外光学系统成像质量的评价,所编软件与国际上同类软件的计算精度相当.介绍了红外干涉仪的多种应用:评价红外光学系统的像质,检测光学件精磨表面粗糙度、光盘基片面形的平整度.结果表明,仪器干涉系统光学质量优于λ/25,扩展不确定度优于λ/130,重复性优于λ/200(λ＝10.6 μm).

关键词：红外干涉仪、波面拟合、干涉检验

所属期刊栏目：32

分类号：TN21(光电子技术、激光技术)

资助基金：国防科工委科研项目J181999B001

在线出版日期：2003-09-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：335-338,381