实用型亚像元定位方法的研究

摘要：

针对重复曝光离线对准系统,提出一种实用型亚像元定位方法--自适应加权拟合细分算法(AWS),详细分析了算法的理论基础和基本原理,利用投影平均来提高信噪比,一维尺寸对比度滤波器单调分区,自动加权突龉丶?重建拟合曲线.仿真和硬件平台实验均表明:该算法具有较高的重复定位精度和实时处理能力.

关键词：投影平均、一维尺寸对比度滤波器、自适应加权、亚像元

所属期刊栏目：29

分类号：O4(物理学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：15-18