离子发动机栅极材料差分溅射产额分布特性仿真

摘要：

针对离子发动机栅极溅射原子空间分布不明确导致栅极腐蚀模型预测偏差大的问题,采用SDTrimSP程序模拟离子轰击栅极材料的溅射过程;系统研究离子入射能量、入射角度以及离子种类对钼栅极材料差分溅射产额的影响.发现正入射条件下的差分溅射产额仿真结果与实验具有较好的一致性.重点关注斜入射条件下差分溅射产额在不同方位角下的分布轮廓,并通过Modified-Zhang公式对差分溅射产额进行拟合,以拟合结果作为材料边界条件输入溅射腐蚀—再沉积模型,较为真实地模拟了栅极材料的腐蚀过程.以上研究可为离子发动机栅极组件腐蚀形貌的精确预测提供参考.

关键词：离子发动机、钼栅极材料、差分溅射产额、斜入射、腐蚀—再沉积模型

所属期刊栏目：41

分类号：V439(推进系统（发动机、推进器）)

资助基金：国家重点研发计划;国家自然科学基金

在线出版日期：2024-09-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：450-458