地面寿命试验中离子推力器表面的溅射沉积量计算

摘要：

有效降低溅射沉积影响是离子推力器地面寿命试验需要解决的重要技术问题.文章建立了真空舱壁上溅射物沉积到离子推力器表面的计算模型.应用该模型计算了LIPS-200推力器在TS-7真空舱中进行寿命试验的背溅射沉积情况,对钛(Ti)材料和石墨(C)材料内衬,背溅射沉积量分别为0.79 μm/kh和0.20 μm/kh.对比美国NSTAR和NEXT离子推力器寿命试验中的背溅射沉积量测量数据,文章中的计算结果表明,LIPS-200推力器的表面沉积污染在可接受的范围.

关键词：背溅射、数学模型、溅射沉积、离子推力器、寿命试验

所属期刊栏目：28

分类号：V439+.4;O561.5;V416.6(推进系统（发动机、推进器）)

资助基金：真空低温技术与物理重点实验室基金项目支持9140C550403105504

在线出版日期：2013-05-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：436-439