超高真空设备的放气分析

摘要：

文章介绍了超高真空设备放气的理论,并给出两种放气模型:Schram吸附模型和吸附-扩散模型;对设备的放气理论值进行了计算,并通过四极质谱仪得出的残余气体质谱图分析出材料放气的成分.

关键词：放气、超高真空、材料

所属期刊栏目：26

分类号：V416.8(基础理论及试验)

在线出版日期：2009-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：158-161