基于MOEMS技术光开关及控制系统研究

摘要：

微光机电系统(MOEMS)技术是全光网络光开关的关键技术.文章介绍了MOEMS技术和MOEMS光开关,分析了典型二维(2D)和三维(3D)微反射镜MOEMS光开关的实现机理与特性,并介绍了静电驱动、二维微反射镜MOEMS光开关的控制系统,以期对MOEMS光开关的研究者提供参考价值.

关键词：光开关、MOEMS、驱动、控制系统

所属期刊栏目：25

分类号：TN256(光电子技术、激光技术)

资助基金：黄石市科技局项目资助

在线出版日期：2010-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：4-6