Nd:YAG晶体表面性能等离子体改性研究

摘要：

采用自行研制的常温等离子设备,开展等离子体射流对Nd:YAG晶体表面润湿性和表面力学性能的改性试验研究.结果表明:等离子体对Nd:YAG晶体表面具有明显的改性作用,等离子体改性后3种粗糙度特征的Nd:YAG表面润湿性均获得改善,其中光滑表面由疏水转变为超亲水,且在30 h内保持良好的亲水状态,改性后Nd:YAG晶体表面含氧官能团的增加是润湿性改善的主要原因;Nd:YAG晶体改性后0～11 h、11～22 h、22～35 h,显微硬度分别呈现出保持、下降与回复、稳定的特点,其中11～22 h内具有最低的表面显微硬度,在15.0、30.0、70.0 mN载荷作用下,其平均显微硬度分别下降了56.2％、45.0％、31.6％;改性后11 h,表面塑性的迅速提高导致部分压痕形貌出现"阶梯"和"阴影"特征.

关键词：等离子体、改性、Nd:YAG晶体、润湿性、纳米压痕、显微硬度

所属期刊栏目：49

分类号：TH16

资助基金：国家自然科学基金资助项目;中物院超精密加工技术重点实验室基金资助项目

在线出版日期：2021-04-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：55-61