基于图像处理的微钻芯厚测量

摘要：

针对接触式芯厚测量设备不能测量直径小于0.30 mm的微钻的问题,提出了基于图像处理的微钻芯厚测量方法.为了提高设备的检测精度,对3种亚像素边缘检测算法进行了对比,综合各算法的误差和耗时,选取灰度矩法为亚像素边缘检测算法;并通过对直径0.40 mm、0.25 mm的钻头的芯厚测量来验证文中提出的测量方法的精确性.结果表明:对直径0.40mm的钻头,基于图像处理的芯厚测量方法的重复精度可达1μm,重复精度优于接触式芯厚测量方法;对于直径0.25 mm的钻头,基于图像处理的芯厚测量方法的重复精度仍可达到1μm,说明该方法能够有效测量直径小于0.30 mm的微钻的芯厚.

关键词：微钻、芯厚、亚像素边缘检测、图像处理、重复精度

所属期刊栏目：44

分类号：TH89

资助基金：国家科技支撑计划项目2015BAF20B01;广东省科技计划项目2012A090100012,2013B010134010,2014B090921003;广州市科技计划项目201604010064Supported by the National Key Technology Research and Development Program of the Ministry of Science and Technology of China2015BAF20B01;the Science and Technology Program of Guangdong Province2012A090100012,2013B010134010,2014B090921003

在线出版日期：2016-11-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：70-76,89