硅衬底SrTiO3薄膜的热敏特性

摘要：

利用氩离子束镀膜技术在SiO2/Si衬底上淀积钛酸锶（SrTiO3）膜，并制成平面型电阻器.结果表明：在实验温区（28～150℃）内，SrTiO3薄膜具有负温度系数电阻特性，且热敏特性比较明显，在室温30℃时，温度系数α达-2.15%℃-1.建立热敏电阻-电容器并联模型，分析了频率对不同温度下薄膜电阻器阻抗的影响.在实验温区内，SrTiO3薄膜的介电常数具有较好的热稳定性.

关键词：SrTiO3薄膜、热敏电阻器、热敏特性

所属期刊栏目：29

分类号：O484.4(固体物理学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：35-38