一种内置双层电热MEMS安保机构的微点火序列

摘要：

为实现点火序列的高安全性及微封装体积,研究设计并制作了一种内置双层电热MEMS安保机构的微点火序列,该序列包含了点火器、安保机构及点火药等核心部件,整体封装尺寸为Φ10 mm×3.3 mm.其中安保机构为具有双稳态功能的双层结构,前端的点火器为覆盖有Al/CuO微装药的NiCr桥箔,桥箔电极采用背部无引线封装的方法来降低序列封装体积,后端的点火药采用硼/硝酸钾(Boron/potassium nitrate)点火药.采用控制Al/CuO装药量的方法对其安保性能进行测试,结果表明该序列在Al/CuO装药尺寸为Φ800μm×30μm时安保机构在安全状态下能够阻隔前端点火器火焰能量的传递并保持结构功能完整,在解保状态下能够使后端的点火药被点火器点燃,具备点火隔火能力.

关键词：点火序列、安保机构、电热执行器、MEMS、BPN

所属期刊栏目：31

分类号：TJ5;TJ450.2(爆破器材、烟火器材、火炸药)

资助基金：国家自然科学基金52105585

在线出版日期：2023-04-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：229-234