结构光照明层析多样性表面形貌测量

摘要：

围绕散射表面和复杂微结构表面形貌高精度测量需求,对基于结构光照明的表面形貌测量技术与系统进行了研究,设计了基于科勒照明结合数字微镜器件调制的具有良好结构光对比度和均匀性的结构光照明光学系统,提出了基于高斯曲线插值的虚拟狭缝SlitMask结构照明共焦层析算法与基于迭代高斯拟合的峰值提取重建算法,建立了结构光照明表面形貌测量系统,利用单刻线对系统进行准确性与重复性测试,结果表明相对示值误差为1.87％,重复测量结果的标准差为0.0014μm.对玻璃多刻线样板和车削表面进行测试,验证了本系统不仅可用于反射表面的测量,还对散射表面具有较好的测量能力.

关键词：表面形貌测量、结构光照明显微镜、光学层析、重建算法

所属期刊栏目：43

分类号：TB96(计量学)

资助基金：国家自然科学基金51975233

在线出版日期：2023-04-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：161-168