一种基于法布里-珀罗干涉仪的位移测量方法

摘要：

介绍了一种基于法布里-珀罗干涉仪的位移测量方法,为了克服通常的法布里-珀罗干涉仪在位移测量范围方面的局限,采用两束可调激光分别对法布里-珀罗腔的两个相邻谐振峰的光频率进行追踪测量,能够得到任意时刻法布里-珀罗腔的长度,从而实现对测量镜位移的测量,测量范围可以达到毫米量级.对影响测量精度的主要因素进行了简要分析,结果表明采用本方法能够实现纳米级精度位移测量.

关键词：法布里-珀罗干涉仪、多光束干涉、位移测量、测量不确定度

所属期刊栏目：38

分类号：TB921(计量学)

在线出版日期：2018-08-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：26-29