第三代激光干涉仪 ——固体微片激光自混合测量技术的突破

摘要：

微片激光自混合干涉仪原理上与迈克尔逊干涉仪不同.主要差别是:激光自混合干涉仪的光束照射在被测物上并被反射回激光器被激光器内放大介质放大.作者课题组研究的的激光自混合干涉仪的测量速度达到了1 m/s以上,10 m空程的环境误差小到了40 nm.它具有全固态、 可测"黑"目标的位移等性能,又达到了传统激光干涉仪的技术指标.如果第一代光学干涉仪是以光谱灯做光源,第二代光学干涉仪是以HeNe气体激光器做光源的话,固体激光自混合干涉仪因其激光"自混合"原理可看成是第三代激光干涉仪.

关键词：固体微片激光器、激光自混干涉仪、Lang-Kobayash模型、仪器化、位移测量

所属期刊栏目：38

分类号：TB96(计量学)

资助基金：国家自然科学基金61775118, 61475082;国家重大仪器专项2011YQ04013603;北京市科委项目Z151100002415027

在线出版日期：2018-08-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共17页

页码：43-59