研磨面平尺的相移干涉测量方法

摘要：

在平面度计量体系中,研磨面平尺是重要的量值传递标准器.本文提出了利用相移干涉仪非接触、高采样密度及全自动化测量的特点,采用标准平晶直接测量研磨面平尺以获得更高的测量精度的方法.子孔径分段测量后拼接方法,以及斜入射测试方法,均可以取消长平晶的过渡,达到了量值传递扁平化的要求.文中以Φ150 mm相移干涉仪直接测量300 mm研磨面平尺为例,介绍了两种测量方法的原理和测量结果,并从中按标准要求提取了以稀疏点定义的平面度结果.对照检定规程,分析了采用相移干涉仪测量结果的数据不确定度评价方法,两种测量方法的归一化偏差小于0.5.

关键词：平面度、长平晶、研磨面平尺、子孔径拼接、斜入射

所属期刊栏目：38

分类号：TB921(计量学)

资助基金：国家重大仪器专项开发2013YQ150829

在线出版日期：2018-08-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：38-42