基于集成氮化硅微腔的光学传感芯片研究

摘要：

近年来随着传感器在生物探测领域的应用,提高传感器芯片的灵敏度成为研究的热点.利用氮化硅微腔灵敏度高、成本低、易于集成的优点,设计制造了1550 nm波长下二维、三维结构品质因子分别为1.6×104和4 × 103的悬空耦合传感器芯片,并详细研究了集成氮化硅微腔光学传感芯片在折射率测量方面的应用.

关键词：集成光子芯片、微环谐振腔、氮化硅、光学传感器、悬空结构

所属期刊栏目：38

分类号：TB9;TP212.14(计量学)

资助基金：国家自然科学基金11774235,61705130;上海市自然科学基金172R1443400;复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室开放课题资助项目

在线出版日期：2018-08-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：9-16