基于干涉法的非球面测量技术

摘要：

随着光学精密加工技术的发展,非球面光学元件在各种光学系统中广泛应用,高精度非球面检测技术对非球面光学元件的发展意义重大.论述了基于干涉法的非球面面形误差检测技术.根据检测原理,分别对零位干涉检验法与非零位干涉检验法进行了详细介绍.概述了近年来主流的非球面检测技术现状,展望了非球面面形检测技术的发展趋势.

关键词：非球面检测、干涉检测、零位检验法、非零位检验法

所属期刊栏目：38

分类号：TH742(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金51327005,51735002,61705008

在线出版日期：2018-08-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1-8