提高膜片式F-P腔光纤压力传感器灵敏度的试验研究

摘要：

膜片式F-P腔光纤压力传感器是基于法布里-珀罗干涉原理,采用微电子机械系统( MEMS)技术加工而成。在实际应用中,不同的测试环境对传感器灵敏度的要求各不相同,如果针对不同灵敏度,分别采用MEMS工艺批量化生产,则会造成生产成本过高,经济化效益降低。本文利用湿法腐蚀的方法对传感器进行膜片减薄试验,在一定范围内提高了传感器的压力灵敏度,从而满足了不同的测试需求。膜片减薄后,传感器的灵敏度可达34.2 nm/kPa,压力标定曲线的线性度为0.9997,传感器的非线性误差为0.05%,能够实现0~120 kPa (绝压)范围内压力的准确测量。

关键词：湿法腐蚀、压力灵敏度、光纤压力传感器

分类号：TP212.161;TB935(自动化技术及设备)

资助基金：中国航空工业集团公司技术创新基金项目2009F30472

在线出版日期：2014-07-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：25-27