基于微电铸工艺的摩擦接触式微型惯性开关

摘要：

针对微型惯性开关闭合时间短、接触弹跳问题,设计了增强接触效果的摩擦接触式微型惯性开关.基于MEMS惯性开关工作原理,建立了开关物理模型,研究了不同类型惯性开关的闭合性能,提出了增强接触的摩擦接触方法,设计了摩擦接触式微型惯性开关的结构.为了对比接触性能,基于UV–LIGA叠层光刻和精密微电铸工艺,研制了3种不同类型的惯性开关.最后,进行落锤试验,测试结果显示:施加400g外载加速度时,刚性、柔性、摩擦接触式微型惯性开关的闭合时间分别为10μs、80μs、620μs;在惯性开关中引入摩擦电极,既能延长闭合时间,又能解决弹跳问题.研究结果表明,摩擦接触式微型惯性开关在增强接触效果方面具有很大的优越性.

关键词：MEMS惯性开关、弹跳、闭合时间、摩擦接触、微电铸工艺

所属期刊栏目：64

资助基金：国家自然科学基金51975103,61874019

在线出版日期：2021-04-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：66-72,81