先进的涂层技术--EB-PVD

摘要：

@@ 电子束物理气相沉积具有很高的沉积速率和较好的工艺可重复性,基体温度是电子束物理气相沉积工艺中的关键因素.除热障涂层外,根据沉积材料性质及工件要求的不同可以使涂层具有耐磨性、耐腐蚀性和耐冲刷等性能,对零件起到保护作用

机标关键词：物理气相沉积、电子束物理、气相沉积工艺、热障涂层、耐腐蚀性、可重复性、基体温度、关键因素、沉积速率、材料性质、保护作用、耐磨性、耐冲刷、性能、零件、工件

分类号：V26(航空制造工艺)

在线出版日期：2005-06-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：28-30