动态混合注入与沉积法制备TiN膜层

摘要：

采用离子注入、沉积、动态混合注入沉积工艺,在硅基体上制备TiN膜层.用纳米划痕法检测成膜质量,用扫描电镜观察划痕形貌.对比分析结果表明,动态混合离子注入沉积工艺对提高膜层与基体的结合性能效果显著.

关键词：动态混合离子注入沉积、TiN膜、纳米划痕、结合性能

分类号：TN2;TG1

在线出版日期：2005-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：88-91