微/纳米系统技术的研究与发展

摘要：

@@ 发展微/纳米系统的重要意义
微/纳米科学与技术是当今集机械工程、仪器科学与技术、光学工程、生物医学工程与微电子工程所产生的新兴、边缘、交叉前沿学科技术.微/纳米系统技术是以微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)为研究核心,以纳米机电系统(Nano Electro MechanicalSystem,NEMS)为深入发展方向,并涉及相关微型化技术的国家战略高新技术.

机标关键词：纳米系统、系统技术、纳米科学与技术、Mechanical System、生物医学工程、纳米机电系统、微型化技术、微机电系统、微电子工程、前沿学科、机械工程、国家战略、光学工程、高新技术、仪器、交叉、边缘

分类号：TB3;TP2

在线出版日期：2005-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：28-31