基于真空羽流试验的洁净真空系统设计

摘要：

研制的洁净真空系统可用于真空羽流试验及热真空试验研究.详细介绍了真空系统的组成、方案设计及工作模式；计算了不同工作模式下的真空抽气时间；分别对罗茨泵机组、分子泵及低温泵进行了容器极限抽速测试,测试结果表明,满足技术指标；最后对真空容器压力维持能力进行了测试,测得容器平均压升率为0.111Pa/h,对应的平均漏气率为7.24Pa· L/s,真空容器达到了较高的工艺水平.真空系统有多种工作模式供选择,可根据试验需求及故障模式选取,增加了“真空羽流效应实验系统”运行的实用性和经济性.

关键词：真空系统、羽流试验、粗真空系统、高真空系统、超高真空系统、压升率、漏气率

所属期刊栏目：28

分类号：V21;TB75(基础理论及试验)

在线出版日期：2013-07-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1173-1179