磁控溅射DLC/SiC/Ti多层膜对镁合金摩擦磨损性能的影响

摘要：

采用室温磁控溅射技术在镁合金(AZ91D)表面制备DLC/SiC/Ti(类金刚石/碳化硅/钛)多层膜(SiC,Ti为中间层),研究了薄膜的纳米压痕行为和膜基系统的摩擦磨损性能.试验结果表明:DLC薄膜具有低的纳米硬度(4.01GPa)和低的弹性模量(40.53GPa),但具有高的硬弹比(0.10);膜基系统具有好的摩擦磨损性能;在以氮化硅球为对磨件的室温干摩擦条件下摩擦系数平均约为0.19,与镁合金相比,磨损速率低了约三个数量级,膜基系统经3.5h磨损后,未出现裂纹和剥落,显著改善了镁合金的抗磨损性能.

关键词：镁基材、薄膜、摩擦磨损、磁控溅射

所属期刊栏目：29

分类号：TG174.4(金属学与热处理)

资助基金：江苏大学优秀学术青年骨干培养对象基金、江苏省摩擦学重点实验室基金kjsmcx06005

在线出版日期：2009-08-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：47-51