掠入射X射线散射法研究超光滑镜面粗糙度

摘要：

在Xiaomin Tong等的理论上发展了一个二维理论模型,建立散射光强分布与超光滑表面功率谱密度(PSD)的关系.在上海同步辐射光源小角散射实验站上,用不同粗糙度的210 mm和320 mm长的超光滑反射镜进行掠入射X射线散射法(GIXRS)实验,测量散射分布并进行处理,计算出两块反射镜的表面均方根粗糙度(RMS).与白光干涉法测量结果的比对结果表明,根据这种理论进行数据处理得到的RMS值,与白光干涉法的测量结果非常符合.

关键词：功率谱密度(PSD)、均方根粗糙度(RMS)、掠入射X射线散射法(GIXRS)、超光滑表面、同步辐射光源、白光干涉法

所属期刊栏目：35

分类号：O766+.3;TG84(晶体结构)

资助基金：国家青年科学基金项目11105215

在线出版日期：2015-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：255-259