基于图像配准的原子力显微镜图像热漂移失真校正

摘要：

在室温大气环境中,原子力显微镜(AFM)的热漂移会影响扫描过程中针尖定位的精度,导致扫描图像的失真,从而增大基于AFM图像的二维测量的误差.针对这种失真,在图像配准方法的基础上提出了热漂移补偿方法,通过建立热漂移的线性模型,校正扫描的AFM图像,从而恢复样品的真实形貌,有效提高了AFM图像二维平面内的测量准确性.

关键词：原子力显微镜、热漂移、图像校正

所属期刊栏目：34

分类号：TP751.1(遥感技术)

资助基金：科技部重大科学研究计划2007CB936000;国家自然科学基金项目11074168

在线出版日期：2015-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：877-880