光栅单色器中精密直线位移的测试与标定系统

摘要：

在同步辐射光束线建设中,为达到单色器的光谱分辨率要求,对波长扫描机构的定位精度要求在μm量级.我们建立的由激光干涉仪、自准直仪组成的直线位移测试系统,可以对直线位移机构进行测试并对机构的直线位移编码器进行标定.该系统不但实现了直线位移的精密测量,还能对机构的直线性进行测量.应用该系统测出位移范围为160 mm的直线位移机构的重复精度为1.0×10-3mm,分辨率达75×105mm,对光栅尺的标定精度达到RMS=3.0×10-4mm.

关键词：直线位移、测量和标定、光栅单色器

所属期刊栏目：32

分类号：TP206+.1;TH744.1(自动化技术及设备)

在线出版日期：2009-06-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：321-325