Mn/6H-SiC(0001)界面的同步辐射光电子能谱研究

摘要：

本文利用同步辐射光电子能谱(SRPES)和X射线光电子能谱(XPS)对金属Mn在6H-SiC(0001)表面的生长模式和Mn/6H-SiC(0001)界面进行了研究.实验结果表明,常温下金属Mn在6H-SiC(0001)表面上表现为二维层状生长模式.随着金属Mn沉积膜厚的增加,样品表面金属性明显增强.沉积过程中,金属Mn并未与SiC衬底发生反应,界面间由于能带弯曲导致费米能级向下移动,并计算出肖特基势垒高度(SBH)大约为1.79eV.当沉积膜厚达到2 nm后,样品于250℃退火导致金属.Mn向衬底扩散,但未与衬底发生反应.样品于500℃退火后界面间形成Mn的硅化物.

关键词：同步辐射、光电子能谱、欧姆接触、Mn/SiC

所属期刊栏目：31

分类号：O485;O582(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金50572100

在线出版日期：2009-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：900-904