碳剥离膜寿命的研究

摘要：

碳剥离膜用交流电弧法或者直流电弧法来制备,也可用交直流电弧来做多层膜.对不同制备方法和结构的碳剥离膜寿命进行了测量,所测膜的厚度为19μg/cm2.对影响膜寿命的一些因素进行了讨论,尤其是制备方法和碳膜结构.测量结果表明用直流电弧所做的碳膜寿命比交流电弧所做的长.

关键词：碳剥离膜、轰击寿命、交流/直流电弧法

所属期刊栏目：30

分类号：O57(原子核物理学、高能物理学)

资助基金：中国科学院所长基金

在线出版日期：2007-03-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：50-52