不锈钢管道内壁镀TiN薄膜技术及其真空性能的研究

摘要：

介绍了对不锈钢管道大面积内壁用直流溅射方法镀TiN薄膜的技术及工艺,并分析了薄膜的相关参数,测试了镀膜管道的真空性能.结果表明,该方法能够快速、高效地在管道内壁镀上高质量的TiN薄膜,且镀膜后真空室表面的放气率明显低于原不锈钢材料的放气率.

关键词：TiN薄膜、直流溅射、放气率

所属期刊栏目：29

分类号：TN305.92;TG17(半导体技术)

资助基金：中国科学院资助项目10245002

在线出版日期：2006-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：161-164