新型大量程LTP控制系统及数据处理系统

摘要：

讨论了最近研制成功的新型大量程长程面形仪(LTP)中精密线性导轨扫描、定向移动以及高精度任意步长等运动的控制;采用面阵CCD获取准直激光束通过位相板形成的衍射图像、经采集卡数字化,由计算机完成数据处理.数据处理中实现了MATLAB与VC++程序间的通信,采用质心法分离测量光斑以及参考光斑,并利用MATLAB中神经网络算法求取位相板衍射图像中暗线位置,达到了设计要求的精度.

关键词：面阵CCD、线性导轨、位相板、质心法、衍射图像

所属期刊栏目：27

分类号：TP273+.5(自动化技术及设备)

资助基金：中国科学院仪器研制与改造项目

在线出版日期：2004-08-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：511-514