SOI材料和器件及其应用的新进展

摘要：

综述了绝缘层上的硅(SOI)材料的新结构包括不同绝缘埋层和不同半导体材料结构的最新进展,介绍了SOI器件的新结构和SOI器件在抗辐射电子学方面的应用,报道了国内在SOI技术的研发和产业化的最新动态.

关键词：绝缘层上的硅(SOI)、辐射、SOI产业化

所属期刊栏目：26

分类号：TN303(半导体技术)

在线出版日期：2003-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：658-663