磁过滤真空弧沉积中过滤管道的第二阳极作用研究

摘要：

利用一台磁过滤真空弧沉积装置,初步研究了磁过滤管道对系统弧放电的影响.实验证明,磁过滤管道在阴极真空弧沉积中不仅起到消除大颗粒的作用,还作为阴极真空弧放电的第二阳极对弧放电产生影响.给出了磁过滤阴极真空弧放电的等效电路,并用此电路对磁过滤阴极真空弧放电中的部分实验现象进行了解释.

关键词：磁过滤管道、阴极真空弧、第二阳极作用、等效电路

所属期刊栏目：24

分类号：TL657(受控热核反应（聚变反应理论及实验装置）)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划863-715-008-0040

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：842-847