影响接触显微成像分辨率的若干因素分析

摘要：

分析了影响软X射线接触显微成像分辨率的若干因素,如:记录过程中的辐射损伤,后续放大设备读出引进的误差,以及菲涅尔衍射效应等,并且提出改善分辨率的一些实用方法.

关键词：软X-射线、接触显微成像、分辨率

所属期刊栏目：24

分类号：O434.19;O644.2(光学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：586-594