团簇沉积C-N薄膜的研究

摘要：

利用荷能团簇沉积装置在高阻硅(111)衬底上沉积了碳氮薄膜。通过红外光谱、拉曼谱和X光电子能谱对薄膜的结构和化学组分进行了分析。结果表明，薄膜中存在N-sp3C(β-C3N4的键合方式)，但以N-sp2C和C=C双键的结合方式为主。

关键词：团簇沉积、碳氮薄膜、结构

所属期刊栏目：24

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金19735004、19675062

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：433-438