Ti、C和Ti+C离子注入钢表面纳米相镶嵌复合层的形成

摘要：

选取质量差异很大的C、Ti、Ti+C离子对钢进行了离子注入，用透射电子显微镜对注入样品横截面进行结构分析。结果表明，注入层结构发生了明显的变化，形成了纳米相镶嵌复合层，复合层的深度大约是相应离子射程的5.913.7倍。三种条件下注入，其结构变化有明显的差异。用TRIM95程序对三种离子注入的碰撞参数进行了计算，结果表明，结构的变化明显地与注入参数相关。最后分析了复合层特性的变化与注入条件和结构变化的关系。

关键词：C离子、Ti离子、金属蒸发真空弧注入、钢、表面改性、纳米相镶嵌复合层结构、TEM

所属期刊栏目：23

分类号：TL503.3(加速器)

资助基金：国家科学工程项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：441-446