IBAD MoS2-Ta膜的电子显微与能谱分析

摘要：

用透射电子显微镜与能谱技术对离子束辅助沉积的MoS2-Ta膜的形态、结构、组成以及元素的化学态等进行了观察和分析.发现膜在沉积过程中已产生部分晶化,膜体出现衬度鲜明的白色"团簇"点缀的两相特殊形态.TEM与XPS分析确定白色"团簇"属析出的第二相TaS2.两区都具有(002)、(100)和(110)取向,面间距与晶格常数都比MoS2单晶增大,"白区"的参数又比膜基体略大.去离子水浸泡和高温氧化实验表明,MoS2-Ta膜的耐水解、抗氧化能力远比同一条件沉积的MoS2膜优越.

关键词：离子束辅助沉积、MoS2-Ta膜、MoS2膜、浸泡、氧化

所属期刊栏目：22

分类号：O57(原子核物理学、高能物理学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：143-148