四极质谱计气体分析与测量系统的研制

摘要：

介绍了为开展漏孔检测、氘-氦分辨性能及真空检漏技术等相关实验研究而进行的四极质谱计分析与测量系统的研制,描述了真空室结构、抽气设备的选型、测量仪器的选择及控制保护子系统工作方式.对系统进行了包括极限真空、残余气体质谱分析、漏放气率、质谱计性能等测试,结果表明本系统达到了设计要求.

关键词：流导、漏放气率、灵敏度、离子流

所属期刊栏目：32

分类号：TL62+8(受控热核反应（聚变反应理论及实验装置）)

资助基金：国家磁约束核聚变能研究专项资助项目2010GB1008002

在线出版日期：2012-12-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：229-234