N2射频放电带电粒子(e,N2+,N+)的PIC-MC模拟

摘要：

采用PIC-MC自治模型,模拟了氮气电容性耦合射频放电的微观等离子体过程及带电粒子(e,N2+,N+)的行为.结果表明,离子(N2+,N+)的运动状态滞后瞬时射频电场的变化；在两极附近,N2+具较高密度,但能量较低,N+具较低的密度但能量较高,两者的密度差6倍左右.两种离子轰击射频电极的能量分布变化规律类似,随放电参数变化,离子(N2+,N+)能量变化显著,其密度变化不明显.模拟的电子能量几率分布与测量结果一致.

关键词：N2等离子体、射频放电、PIC-MC模拟

所属期刊栏目：32

分类号：O539(等离子体物理学)

资助基金：河北省自然科学基金资助项目A2012205072;河北师范大学自然基金2010Y02资助课题

在线出版日期：2012-12-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：206-212