脉冲调制射频功率测量中的标定及FFT分析方法研究

摘要：

利用电压/电流探头和数字示波器实现了脉冲调制射频功率测量.电压/电流探头输出的电压、电流信号由数字示波器采集存储,电压、电流的幅值及相位差由FFT分析得到.在不同频率下,对电压、电流幅值及相位差进行标定,获得计算射频功率的标定参数.分析表明电压、电流相位差是影响标定系数的主要因素,FFT方法处理非稳态调幅电压、电流时存在问题,只有在零无功功率处才能获得可信的吸收功率.

关键词：脉冲射频功率测量、电压/电流探针、标定、非稳态FFT、相位差

所属期刊栏目：31

分类号：O539(等离子体物理学)

资助基金：国家自然科学基金资助项目10835004

在线出版日期：2012-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：297-304