等离子体鞘层及粒子碰撞对微波共振探针诊断的影响

摘要：

针对气压大于133Pa的气体放电时等离子体鞘层及粒子碰撞对微波共振探针密度测量的影响变大的问题,对微波共振探针模型进行了改进,推导了鞘层修正因子和碰撞修正因子,探讨了微波共振探针尺寸对测量等离子体密度的影响.结果表明,针丝半径选择0.2mm,并且选用较大宽度的探针有利于减小测量误差.

关键词：微波共振探针、等离子体密度、鞘层、碰撞频率、修正因子

所属期刊栏目：30

分类号：O539;TL65(等离子体物理学)

在线出版日期：2010-05-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：86-89