低功率圆柱形阳极层离子源的性能研究

摘要：

介绍了一种低功率圆柱形阳极层离子源的工作特性和束流分布特性.离子源正常工作参数范围为工作电压200～1200V,放电电流0.1～1.4A,工作气压～Pa,气体流量5～20sccm.离子源有两个工作状态:发散状态和准直性状态.

关键词：圆柱形阳极层离子源、离子束、发散状态、准直性状态

所属期刊栏目：29

分类号：O539(等离子体物理学)

在线出版日期：2009-04-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：92-96