PSII系统中微波ECR等离子体的朗缪尔探针诊断

摘要：

用朗缪尔探针对一个新颖的双谐振腔多功能PSII系统的微波ECR等离子体进行了诊断,得出了会切场中工作气体压强和微波功率对等离子体密度和电子温度的影响,及真空室内等离子体的分布.

关键词：朗缪尔探针、微波ECR、等离子体密度、电子温度

所属期刊栏目：24

分类号：O4536;TL65+6(无线电物理学)

在线出版日期：2005-01-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：311-314