10.3969/j.issn.0254-6086.2004.02.011
同轴磁场对非平衡磁控溅射系统放电特性的影响
采用激励电流可以调整的电磁线圈来激发非平衡磁场,调整约束磁场和放电空间等离子体状态.实验结果表明调整非平衡磁场显著影响系统的放电特性,使放电特性偏离常规的磁控溅射系统放电特性,增强了等离子体的引出效果.在Ar放电的条件下,详细研究了溅射系统的工作伏安特性随不同的工作气体、气压和溅射功率的变化规律.根据蔡尔得公式,讨论了非平衡磁场对于磁控溅射系统中放电特性的影响规律.
非平衡磁控溅射系统、薄膜、等离子体
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TL65+;TB43(受控热核反应(聚变反应理论及实验装置))
2004-07-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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