产生臭氧的等离子体过程及其特性

摘要：

当电子从强电场(＞300Td)放电取得的平均能量大于8.4eV时，氧分子便分解且分解电离成高浓度的氧原子和氧原子离子，从而产生高浓度(＞200g*m－3)的臭氧。利用电离放电电场的物理量可控制臭氧产生浓度、产生效率及臭氧分解速率，从而实现臭氧产生装置小型化，拓宽了臭氧在环境工程上的应用领域。

关键词：强电离放电、臭氧、等离子体、电子平均能量

所属期刊栏目：21

分类号：O461(真空电子学（电子物理学）)

资助基金：国家自然科学基金60031001;国家自然科学基金69871002

在线出版日期：2004-01-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：183-188