高密度等离子体工艺总体模型初探

摘要：

介绍了与高密度等离子体工艺相关的模型和数值模拟方法，即连续流和动力学方法。在漂流-扩散方程的连续流模型和单元粒子/蒙特卡罗碰撞动力学模型的基础上，提出了一个等离子体工艺模型。讨论了对等离子体鞘层、等离子体刻蚀和淀积过程的模拟方法，提出了一个高密度等离子体工艺总体模型的初步方案。

关键词：等离子体、模型、数值模拟

所属期刊栏目：21

分类号：O539(等离子体物理学)

资助基金：国防科技预研基金99J8.3.2DZ0137;教育部跨世纪优秀人才培养计划

在线出版日期：2004-01-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：7-12