金属元素掺杂ZnO气敏传感器的研究进展

摘要：

ZnO气敏传感器因其具有灵敏度高、响应快等优点受到人们的重视.掺杂是一种重要的改性方法,可改善材料的气敏性能.本文综述了主族及过渡金属掺杂、金属氧化物掺杂、稀土元素掺杂ZnO材料,并提出展望,希望对相关科研人员有所帮助.

关键词：气敏传感器、ZnO、掺杂、灵敏度

分类号：TN305.3;TM23(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金;中央高校基本科研业务费专项资金资助项目

在线出版日期：2023-02-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：11-13